非接觸式單點(diǎn)薄層電測(cè)量系統(tǒng)。該裝置包含一個(gè)渦流傳感器組，感應(yīng)弱電流到導(dǎo)電薄膜和材料。非接觸式薄膜方塊電阻測(cè)量儀試樣中的感應(yīng)電流產(chǎn)生與測(cè)量對(duì)象的片電阻相關(guān)的電磁場(chǎng)。電渦流技術(shù)不依賴于表面特征或形貌。此外，非接觸式單點(diǎn)方阻測(cè)試儀不需要如已知的2或4點(diǎn)探針測(cè)試(2PP,4PP)或霍爾效應(yīng)或范德波測(cè)量一樣進(jìn)行任何形式的充分的樣品接觸備樣。非接觸式單點(diǎn)方阻測(cè)試儀既不需要設(shè)置測(cè)試結(jié)構(gòu)，也不受表面粗糙度影響。
渦流儀器不存在機(jī)械磨損，使用壽命長。獨(dú)立性與接觸質(zhì)量和它的高速允許實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和準(zhǔn)確性，有利于在研發(fā)和測(cè)試實(shí)驗(yàn)室的各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。
無損方塊電阻測(cè)試儀的操作步驟如下：
準(zhǔn)備階段
檢查設(shè)備外觀：確保設(shè)備無損壞，連接線完好。
閱讀說明書：了解設(shè)備的工作原理、基本操作方法及安全提示。
安裝電池：打開機(jī)殼后小蓋，裝上一節(jié)9V電池，并蓋上后蓋。
連接探頭
將探頭電纜與主機(jī)連接好，注意插頭與插座的凹凸點(diǎn)要對(duì)位。
檢查探針是否彎曲變形，確保能靈活伸縮。
設(shè)置量程
根據(jù)測(cè)量要求選定量程進(jìn)行切換，選擇符合當(dāng)前要求的量程。
XX-2型儀器出廠設(shè)置為10.0-1999.9Ω/□檔位，如需更改請(qǐng)按以下步驟操作：擰開機(jī)殼三顆螺絲，拿下機(jī)殼；把機(jī)內(nèi)線路板上的壓帽拿起，取出線路板；調(diào)整線路板上的六位DIP開關(guān)和二位DIP開關(guān)。
開始測(cè)量
將電源開關(guān)打開（開關(guān)下位）。
用探頭平壓在待測(cè)物電阻面上進(jìn)行測(cè)量。
測(cè)量過程中，當(dāng)面板上“回路正常指示”LED燈發(fā)亮?xí)r，表示該次測(cè)量有效，讀取顯示屏的數(shù)值。
如果LCD顯示“”，表示電池欠壓，需要更換電池。
結(jié)束測(cè)量
完成測(cè)量后，請(qǐng)將電源關(guān)閉（開關(guān)上位）。
斷開探頭與主機(jī)的連接。
長期不使用本儀器時(shí)，請(qǐng)將電池從機(jī)內(nèi)取出。
測(cè)試完畢，斷開電源，將手提式方塊電阻測(cè)試儀輕輕放入包裝盒內(nèi)。
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