MFC330傳感器基于毛細管柱熱式傳感器,毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內部質量流量,氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,二者都在傳感器管的外部。
第一條路徑:流經加熱的毛細管傳感器管,該管的直徑較小且長度較長。
第二條平行路徑:通過分流旁路。
兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設定,出廠前完成該設定。
設定完成后,通過毛細管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。
毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內部質量流量,氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,二者都在傳感器管的外部。
需要預熱:5min內達到95%流量精度,最長預熱30min
基于熱傳導,MFC響應速度≤1s優點:由于其非接觸式的結構,抗腐蝕,液體不損壞,過流不損壞。
MCL300是一款面向MFC300(氣體質量流量控制器)的專用控制及顯示儀表,可以同時控制及顯示16臺MFC300,可以對MFC進行流量、流量累積量的控制及顯示。可以實現對氣體流量的自動或手動輸出和氣體流量累積量的手動及循環輸出,可以滿足絕大部分用戶對氣體的流量及流量累積量操控要求。