六十年代初是中國潔凈室技術發展的起步階段，大致比國外晚了十年。在中國，那是一個非常特殊的困難年代，一方面剛度過三年自然災害，經濟基礎薄弱，另一方面與世界科技國家沒有直接交往，得不到必要的科技數據、信息和樣品。在這種艱難條件下，圍繞精密機械、航空儀表和電子工業的需要，中國的潔凈技術工作者開始了自己的創業歷程。

潔凈室技術在中國發展的歷程劃分為如下幾個階段：

1、起步和奠基階段

六十年代初至七十年代末，這十多年是中國潔凈技術的起步和奠基階段。1965年，由中國建筑科學研究院空氣調節研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的高效空氣過濾器通過鑒定，標志了我國潔凈技術開始正式起步。當時所用濾紙有兩種材質，一種是藍石棉纖維濾紙的GS系列高效空氣過濾器，但因生產過程對人體健康不利很快被淘汰；另一種是超細玻璃纖維濾紙的GB系列高效空氣過濾器，一直沿用至今。在這個階段內，與潔凈室配套的凈化設備陸續試制成功，一些原來生產無線電、半導體專用設備的、生產的工廠轉向凈化設備的生產，在國內形成了初步的潔凈室設備生產規模與布局。

2、潔凈室成熟與發展階段

七十年代末至八十年代末，這十年間，中國的潔凈技術經歷了一段陽光燦爛的發展階段。在中國潔凈技術發展歷程中，許多標志性的重要成果，幾乎都誕生在這個階段。

(1)標準、規范制定與國際交往方面：

1979年1月出版了 《空氣潔凈技術措施》，起到了規范與推動當時中國潔凈室技術的重要作用，為日后國家標準的制定奠定了基礎。

1984年12月頒發了《潔凈廠房設計規范》，為中國潔凈室技術與國際接軌向前邁進了一步。

隨后，結合中國國情，參考國際標準先后制定了GB6166-85高效濾料性能實驗方法、穿透率和阻力，GB6167-85塵埃粒子計數器性能試驗方法，GB6168-85層流潔凈工作臺檢驗標準等多個標準，對統一與規范試驗、測定方法，增強科學性起了很大作用。

1982年6月成立了中國電子學會潔凈技術分會（對外的名稱是“中國污染控制協會”CCCS—Chinese Contamination Control Society）。1986年中國潔凈技術學會成國國際污染控制學會聯盟ICCCS（International Confederation of Contamination Control Society）的成員。

(2)潔凈室基礎與技術研究方面：

在七十年代末至八十年代末這10年中，在潔凈室的基礎和技術研究方面也取得了眾多成績，如：

提出了中國大氣塵的統計規律、濕度對大氣塵濃度的作用、“W”型大氣塵濃度日分布模型，為確定室外設計濃度提供了依據；

提出了帶空氣幕層流罩的隔離效果、設計原理與計算方法；

提出了亂流潔凈室的均勻分布理論計算公式、經驗計算公式，以及自凈時間、污染時間的計算式；

提出了單向流潔凈室下側回風方式的室寬、計算模型以及下限風速的概念及數據；

提出了高效空氣過濾器封導結合的雙環密封原理和方案，倒置式液槽密封方案；

進行了人體發菌量的測試與分析；

建立了濾材、濾器的細菌過濾效率測試臺，得到了對大氣塵菌源的濾菌效率與計數、計重效率的相關關系。中國建筑科學研究院、四機部十院、十一院等科研院所、設計院、天津大學、清華大學、同濟大學、哈爾濱建筑工程學院、河北工學院等院校對此做了較多的工作。

3、潔凈室與國際全國接軌，走向規范化

九十年代初至今，在電子技術持續飛速發展的推動下，潔凈技術不斷前進。三十多年來，美國聯邦標準209，一直是世界各國潔凈技術行業的標準。美國總服務局（GSA—U.S.General Services Administration），也就是批準美國聯邦標準供聯邦政府各機構使用的單位，于2001年11月29日發布公告，廢止FED—STD—209E，等同采用ISO—14644相關標準。這個決定標志著潔凈技術隨同世界經濟一體化進一步走向國際大同。九十年代初至今，中國經濟始終保持穩定的高速增長，國際投資持續注入，一批跨國集團在中國陸續興建了眾多的微電子工廠。因此國內技術與研究人員有更多機會直接接觸國外高級別潔凈室的設計理今，了解世界的設備和裝置、管理與維護等等。從這方面來看，的確從各個角度與國際日益接軌。

概括這十年來國內潔凈室技術行業的歷程，潔凈室技術行業在許多方面日益與國際接軌，反映在相關規范的內容、潔凈室設計思路與方案、施工技術與管理、檢測手段與技術等等方面。全國處于運行狀態的各種級別的潔凈室面積，據不統計和測算，從八十年代初10多萬平方米猛增到200多萬平方米。