液體顆粒計數器判定電子級硫酸等級的應用
2025年08月09日 09:10:02
來源:陜西普洛帝測控技術有限公司 >> 進入該公司展臺
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液體顆粒計數器判定電子級硫酸等級的應用1、電子級硫酸作用:強酸性清洗、腐蝕劑,在集成電路制程應用*多。2、電子級硫酸判定指標:金屬雜質、控制粒徑、顆粒數、IC線寬;3、檢測儀器:四個判定指標中粒徑的大小和數量的多少用液體顆粒計數器來檢測。4、儀器原理:液體顆粒計數采用光散射原理,當粒子通過光敏感區的時候發生散射,利用散射光采集裝置收集粒子散射光強,并通過處理電路進行波形調整,*后用單片機來處理采集到的數據。5、PMT-2 液體顆粒計數器:是普洛帝測控獨立研發、生產、銷售、售后的顆粒管控儀器。防腐型主要應用于電子濕化學品的單酸堿、混合溶液、溶劑類的高純試劑的顆粒度檢測。通過顆粒的大小和數量的多少來判定電子級濕化學品的等級。6、檢測過程:用PMT-2 液體顆粒計數器,檢測4種不同純度的電子級硫酸。檢測數據備用。7、電子化學品SEMI國際標準等級表| 等級 | IC線寬 | 金屬雜質 | 控制粒徑 | 顆粒(個/mL) | 應用 |
| C1(G1) | >1.2 | ≤1000(1ppm) | ≤1.0 | ≤25 | 分立器件、太陽能電池 |
| C7(G2) | 0.8~1.2 | ≤10(10ppb) | ≤0.5 | ≤25 | 顯示面板 |
| C8(G3) | 0.2~0.6 | ≤1.0(1ppb) | ≤0.5 | ≤3 | 大規模集成電源(IC)、 超高清LCD、OLED顯示面板 |
| C12(G4) | 0.09~0.2 | ≤0.1(0.1ppb) | ≤0.2 | | 超大規模集成電路(IC)、超高清LCD、OLED顯示面板 |
| (G5) | <0.09 | ≤0.01 | 雙方協商 | 雙方協商 | 超大規模集成電路(IC) |
對照此表格,看您的電子級硫酸的等級,將對應等級的電子級硫酸應用到不同領域。8、注意事項:儀器放置到十級清潔臺內,減少空氣中大顆粒進入液樣造成的二次污染。在使用前應對儀器進行校準,以確保檢測結果的準確性。避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的顆粒進入檢測液樣。操作人員要穿戴潔凈工作服,戴潔凈手套、口罩進行整個測樣過程。
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