液體顆粒計數器在光刻膠檢測中的應用
2025年08月09日 09:12:39
來源：陜西普洛帝測控技術有限公司 >> 進入該公司展臺
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1、概念：光刻膠（Photoresist）又稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。2、作用：光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。印刷工業是光刻膠應用的另一重要領域。3、現狀：低端光刻膠國內企業基本能自給自足，但光刻膠基本被國外壟斷，應用于7nm以下的EUV光刻膠技術國內更是處于空白，國產化道路可謂任重道遠。4、檢測儀器：電子級光刻膠的級別判定有線寬、金屬雜質、顆粒數和大小，4個指標。其中顆粒檢測用的是液體顆粒計數器。采用光散射法的原理來對光刻膠里的粒子大小和多少進行檢測。通常會檢測0.1um、0.2um、0.3um、0.5um這4個粒徑值。普洛帝測控PMT-2 光刻膠液體顆粒計數器，可以測高粘度和低粘度的光刻膠。在光刻膠行業里有一定的應用。5、檢測流程：在十級環境里（可以用十級清潔臺達到十級檢測環境的目的），將PMT-2 置于實驗臺上，?。?0mL的樣量，設置5秒鐘檢測一次。檢測3次，去除第1次檢測結果，取后2次檢測結果的平均值為檢測結果。6、注意事項：保證PMT-2 檢測的準確性。檢測前，用實驗用水沖洗整個進液、出液管路。檢測環境達到十級，將二次污染減小到*小幾率。操作人員穿戴潔凈服、佩戴潔凈手套、帽子、口罩。做好防護。
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