PMT-2應(yīng)用之---電子級硫酸的顆粒管控
2025年08月09日 10:10:01
來源：陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺
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電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒，無機(jī)殘留物和碳沉積物。電子級硫酸管控有2個難點(diǎn)，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸的腐蝕性很強(qiáng)，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強(qiáng)腐蝕很強(qiáng)。高濃度的硫酸檢測，接液材質(zhì)達(dá)不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測，稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題，都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。針對這2個問題，普洛帝研發(fā)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過反復(fù)試驗(yàn)，攻破了這2個難點(diǎn)，將電子級硫酸的檢測濃度提升到98%。在高濃度強(qiáng)酸性的情況下，依然可以實(shí)現(xiàn)顆粒管控的準(zhǔn)確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號PMT-2，選用0.1-1.0um檢測范圍的強(qiáng)腐蝕性傳感器，實(shí)現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的。目前，已經(jīng)在江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應(yīng)用。
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