1.光腔（optical cavity）
光腔又稱為光學諧振（頻率一致而產生幅值增強的現象）腔。其通常由兩面反射鏡形成的一個光學腔體結構。在光腔衰蕩光譜法中，兩面反射鏡都為高反鏡，一面為參考鏡，另一面為被測鏡。光波會限制在腔體內產生多次反射。
2.光腔衰蕩（cavity ring-down/CRD）
一束光照射進由參考鏡和被測鏡組成的光腔中，光會在光腔中多次反射。由于反射鏡并不是反射，有透射和吸收等損耗的影響。光的能量會隨時間進行一個衰減。這個過程就叫光腔衰蕩。
3.光腔衰蕩光譜（cavity ring-down spectroscopy/CRDS）
光腔衰蕩光譜是一種高靈敏度的光譜技術，可以通過光的總損耗來精確地確定反射鏡的反射率。光腔衰蕩光譜又被稱為光腔衰蕩激光吸收光譜（CRLAS）。
光腔衰蕩光譜一般分為脈沖光腔衰蕩光譜和連續波光腔衰蕩光譜。
光譜儀（spectrometer）是一種科學儀器，用于分離和測量物理現象的光譜分量。其所測量的變量通常是光的強度，但也可以是例如偏振狀態。光譜儀主要由光源、色散組件（棱鏡或光柵）和探測器組成。用光電探測器接收色散信號的光譜儀同時被稱為分光光度計。
對于一般光學元件的反射率測量中，常用商用光譜儀直接測量反射光譜，測量精確度往往依賴于儀器本身的精確度。
光腔衰蕩光譜測量所使用的設備被稱為光腔衰蕩光譜儀。
光腔衰蕩光譜儀與一般光譜儀有一些區別，其包含一個用于高精細度光腔的激光光源、構成光腔的兩面高反鏡和探測器。
光腔衰蕩光譜儀測量的是，光強衰減為初始強度的 1/e 所需要的時間，這個時間被稱為“衰蕩時間”可以被用來計算系統的總損耗。
以脈沖光腔衰蕩光譜法做說明。脈沖光被限制在空的光腔中做多次反射，因吸收和散射造成光束能量的衰減，其總損耗已被證明為與時間相關的指數函數。
I(t)=I0e-t/τ
在上式中，I(t)為在t時刻的光強；I0為初始光強；t為激光器被切斷的瞬間后光束限制在腔內反射的時間；e為自然常數，其值約為2.718；τ為衰減時間常數，表示為It衰減到I0的1/e所需的時間，其值取決于腔內的反射鏡的損耗和其它的一些光學損耗如散射等。τ用數學式可表示為：
τ=(n/c)*(2L/α)
在上式中，n為腔內的折射率，一般情況下為空氣，則n=1；c為真空中的光速，其值為3×108m/s；L為腔體長度，即兩面反射鏡中心的距離；α為系統往返一次的總損耗（包括兩面反射鏡的透射損耗、吸收損耗和散射等其它光學損耗），即我們關心的值。
總損耗包括兩面反射鏡的透射損耗、吸收損耗和散射等其它光學損耗，若假設兩面反射鏡的反射率R1=R2=R~1時，由I(t)=I0(R1R2)(n*2L)/c可確認總損耗：
α=-ln(R1R2)≈2(1-R)
但我們還有一種更精確的測試方式。
假設有三面反射鏡，M1、M2和M3。M1和M2為參考反射鏡，M3為被測反射鏡。通過上述方法我們可以獲得M1和M2的總損耗α12，M2和M3的總損耗α23，M1和M3的總損耗α13。由此可以很簡單地得出被測反射鏡的單鏡損耗為：
α3=1/2(α23+α13-α12)
由上式，我們就可以獲得一個準確率的反射率及反射光譜。
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