SJ6000
國產激光干涉儀具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉軸分度精度的測量。
可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。
為了避免激光損壞及設備故障，國產激光干涉儀通常會采取一系列的防護設計措施。這些措施主要集中在以下幾個方面：
1、激光功率控制與保護
激光源通常具有一定的功率范圍，超出此范圍可能會導致激光損壞。為防止激光過載，激光源的功率控制設計至關重要。常見的激光功率保護措施包括：
激光功率調節器：通過調整激光源的輸出功率，避免激光強度過高。功率調節器能夠根據測量需求動態調整輸出激光功率，防止激光器處于過載狀態。
功率監控系統：安裝功率傳感器，實時監控激光源的功率輸出。當功率超過設定范圍時，系統會自動觸發報警或關停機制，保護激光源不受損害。
自動關停系統：如果系統檢測到激光功率異常，自動關停激光器，避免損壞激光源或光學元件。
2、環境保護設計
光學元件對環境條件非常敏感，尤其是溫度、濕度、振動等因素。因此，環境防護設計顯得尤為重要。常見的防護設計包括：
溫濕度控制：工作環境通常需要保持在恒定的溫濕度范圍內。配備有溫濕度監控系統，并通過空調、恒溫箱等設備保持環境條件的穩定。
振動隔離：為了確保測量精度，通常安裝有抗振動設計，如使用減震支架或安裝在振動隔離平臺上，減少外部震動對測量的影響。
防塵防污染設計：光學元件非常容易受到灰塵、油污等污染，影響其透光性和反射性能。為此，常常設計有封閉的光學組件艙，防止外界雜質進入系統。
3、光學元件的防護與維護
光學元件起著至關重要的作用，因此對光學元件的保護設計同樣不可忽視。常見的光學元件保護措施包括：
防反射涂層：為了減少激光光束的損失和提高光學系統的穩定性，光學元件通常會采用防反射涂層。這種涂層不僅能提高透光率，還能避免因光學元件的損壞或污染導致的測量誤差。
光學元件清潔與維護：光學元件在長時間使用后容易積塵或受到損傷。因此，定期的清潔和檢查非常必要。高精度的激光干涉儀常配有專用的清潔工具，并規定定期維護和檢查的周期。
