ruker探針式表面輪廓儀/臺階儀DektakXT表面輪廓/薄膜厚度/應(yīng)力/粗糙度等測量系統(tǒng)

布魯克 (Bruker) 是表面測量和檢測技術(shù)的，服務(wù)于科研和生產(chǎn)領(lǐng)域。布魯克DektakXT （探針式表面輪廓儀）設(shè)計，實(shí)現(xiàn)了更高的重復(fù)性和分辨率，垂直高度重復(fù)性<5。這一里程碑式的產(chǎn)品源自于dektak系列占據(jù)地位長達(dá)四十年的表面測量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量 lt;>

全新的DektakXT成為世界上臺采用具有單拱龍門式設(shè)計，配備D攝像機(jī)，并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成測量和操作效率的臺階儀。過去四十多年間，布魯克的臺階儀研制和生產(chǎn)一直在實(shí)踐上不斷實(shí)現(xiàn)，DektakXT延續(xù)了這種性的風(fēng)格。

應(yīng)用：

納米尺度的表面輪廓測量、薄膜厚度測量、表面形貌測量、應(yīng)力測量和平整度等測量，應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、光學(xué)、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域

原理：

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

特征：

臺階高度重復(fù)性優(yōu)于5埃 lt;5 ）

單拱龍門式設(shè)計實(shí)現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性

的“智能化電子器件"實(shí)現(xiàn)了低噪聲的新

操作簡便，高效易用

直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程

的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實(shí)現(xiàn)超微力和較大的力測量

自對準(zhǔn)的探針設(shè)計使用戶可以地更換探針